近日,南宫NG28(简称“南宫NG28”,股票代码:688120)全资子公司芯嵛半导体(上海)有限公司自主研发的12英寸大束流离子注入机iPUMA-LE成功交付国内先进存储领域龙头企业。这是继此前该设备批量交付多家集成电路造作头部企业后,南宫NG28离子注入系列设备在存储芯片领域的又一沉要进展,市场渗入力持续加强,客户认可度再上新台阶。

离子注入机是集成电路前路工艺的关键主题设备,技术壁垒高且持久由国际巨头垄断D瞎琋G28自布局离子注入设备以来,稳步推动产品研发与产业化过程,自主研发的大束流离子注入机系列设备已陆续批量交付多家国内集成电路造作头部企业,并收成持续订单。
这次大束流离子注入机iPUMA-LE交付国内先进存储龙头企业,是对其不变性、均匀性和工艺匹配能力的高度认可,进一步印证了南宫NG28离子注入设备的综合机能与量产靠得住性,也为公司在存储芯片造作领域的市场拓展打开了更辽阔的空间。
iPUMA-LE关键机能指标已达到国际先进水平,具备优异的束流传输效能、注入均匀性与角度节造能力,可能满足先进造程、先进存储对离子注入工艺的严苛要求D瞎琋G28在离子注入设备领域持续深耕,除大束流离子注入机系列设备已实现型号全覆盖表,中束流离子注入机系列设备也获得了阶段性进展,同时积极布局高能离子注入机系列设备,可全面服务于逻辑芯片、存储芯片、功率半导体、图像传感器等多元利用领域,满足客户对分歧工艺节点与器件类型的多样化需要。
随着国内晶圆产能持续扩充及半导体产业链自主可控需要加强,离子注入机等主题前路设备的国产化代替空间进一步扩大D瞎琋G28急剧实现离子注入赛路的业务布局,进一步夯实了公司在前路主题工艺的设备根基,为“设备+服务”平台化战术布局的协同发展注入了强劲的动能。
目前,南宫NG28业务已覆盖化学机械抛光(CMP)、减薄、离子注入、划怯注边缘抛光、湿法、晶圆再生及关键耗材与维保服务等多个领域。未来,公司将持续秉持“客户导向 创新驱动 质量超过”的主题价值观,聚焦半导体造作主题工艺环节,不休丰硕产品矩阵与服务能力,与产业链高低游同伴缜密合作,为全球客户提供更具竞争力的高端设备与工艺集成解决规划,为我国集成电路产业的高质量可持续发展贡献力量。